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【摘 要】
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本文采用反应溅射法在SPC-350多靶磁控溅射仪制备AlN纳米多层膜,并研究了其界面外延生长的结构特征.
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海) 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第十二届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2002年4期
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