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具有自支撑能力的、具备晶格结构的超薄薄膜制作技术对超快电子衍射实验至关重要,薄膜的质量直接影响到后续实验的开展。文章重点介绍了超快电子衍射系统对薄膜样品的特殊要求,以及利用磁控溅射方法制作22.9nm薄膜的工艺过程。
自支撑超快电子衍射薄膜制备方法的研究
【摘 要】
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具有自支撑能力的、具备晶格结构的超薄薄膜制作技术对超快电子衍射实验至关重要,薄膜的质量直接影响到后续实验的开展。文章重点介绍了超快电子衍射系统对薄膜样品的特殊要
【机 构】
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无锡商业职业技术学院电子工程系,江苏省无线传感系统应用工程技术研发中心,中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
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无锡商业职业技术学院学报
【发表日期】
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2010年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金支持课题（60901036）,江苏省青蓝工程资助（苏教师[2008]30号）
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