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随着低温共烧陶瓷（Low Temperature Co—fired Ceramic，LTCC）多层基板为适应电子器件向着小型化、高密度、多功能的发展，从而对低温共烧工艺设备的也提出了更为严格的要求。针对目前低温共烧工艺设备的主要特点介绍了低温共烧陶瓷技术中新型烧结炉的研制方案及技术难点。
LTCC专用烧结炉的研制
【摘 要】
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随着低温共烧陶瓷（Low Temperature Co—fired Ceramic，LTCC）多层基板为适应电子器件向着小型化、高密度、多功能的发展，从而对低温共烧工艺设备的也提出了更为严格的要求。针对
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年10期
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