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利用固相激光诱导化学沉积技术在聚酰亚胺（ＰＩ）基板上实现了金的无掩模局部沉积，也研究了该沉积镀层的形态和组成。研究表明，在激光作用下，产生了热分解的反应，高温反应使镀层和基体发生了“熔合”，且由此形成的金线电阻率低，选择性好。
激光诱导聚酰亚胺上化学沉积金
【摘 要】
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利用固相激光诱导化学沉积技术在聚酰亚胺（ＰＩ）基板上实现了金的无掩模局部沉积，也研究了该沉积镀层的形态和组成。研究表明，在激光作用下，产生了热分解的反应，高温反应使镀层和基体发
【机 构】
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复旦大学化学系,复旦大学近代物理研究所
【出 处】
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复旦学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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上海航天局资助
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