Si_3N_4/SiO_2绝缘栅氢离子敏感晶体管研制及敏感机理的分析

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前言 目前,飞速发展的生物学和生物医学工程迫切要求获得更多的生物学数据,特别感兴趣测量如H~+、Na~+、K~+等离子活度及其离子活度的变化。大家知道,医生给病人看病,就是询问病情,化验血液、粪便等,直接或间接地获得有关病情的资料或数据,然后对这些数据进行处理,对症下药,一组科学的、真实的数据对病情诊断治疗方案都会产生直接的影响。人们渴望能制造测量人体生理数据的各种新型器件,如用离子敏感器件测人体血液的PH值,用压敏器件测血压等…以满足生物、医学工程发展的需要。最近,我们试验成功以Si_3N_4/SiO_2绝缘栅氢离子敏感晶体管,其灵敏度为45mV/PH左右,比我们去年试制的SiO_2绝缘栅离子敏感晶体管灵敏度好,予期它在测量人体血液中的氢离子活度方面将开辟出新的 Foreword At present, the rapid development of biology and biomedical engineering urgently requires obtaining more biological data, and is particularly interested in measuring the changes of plasma activity and ion activity such as H ~ +, Na ~ +, K ~ +. As we all know, the doctors give the patients a doctor's advice, they just ask the patient's condition, test the blood and feces, etc., and directly or indirectly obtain the data or data about the condition. Then they process the data, prescribe the right remedy, diagnose the disease with a set of scientific and real data Treatment programs will have a direct impact. People are eager to create various new devices for measuring physiological data of human body, such as measuring pH of human blood with ion sensitive devices, measuring blood pressure with pressure-sensitive devices, etc. to meet the needs of the development of biology and medical engineering. Recently, we successfully tested with Si_3N_4 / SiO_2 insulated gate hydrogen ion-sensitive transistor, the sensitivity of about 45mV / PH, compared with our last year's trial production of SiO_2 insulated gate-sensitive transistor, it is expected in the measurement of human blood hydrogen ion activity Aspects will open up new ones
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