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真空蒸发醋酸锌和氯化铝，在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究
【摘 要】
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真空蒸发醋酸锌和氯化铝，在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
【机 构】
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山东大学光电材料与器件研究所
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1995年2期
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