【摘 要】
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本文介绍了研制的电视选行扫描器的原理、结构、观察系统装置的特点和性能。此扫描器已应用于发光管及激光器的近场形貌、近场分布、发光管的暗线研究以及远场观察,光刻线条
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
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本文介绍了研制的电视选行扫描器的原理、结构、观察系统装置的特点和性能。此扫描器已应用于发光管及激光器的近场形貌、近场分布、发光管的暗线研究以及远场观察,光刻线条的测量,硅片透射研究等方面的工作。
This paper introduces the principle and structure of the television line scanner developed, and observes the characteristics and performance of the system device. The scanner has been applied to the near-field topography of the LED and laser, near-field distribution, dark line research of LED and far-field observation, lithography line measurement, research of silicon transmission.
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