【摘 要】
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近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。
In recent yea
【机 构】
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武汉大学化学系,武汉大学化学系,武汉大学化学系,
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近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。
In recent years, laser chemical technology has been successfully applied in the field of microelectronics micro-plating, polycrystalline silicon or metal laser deposition, semiconductor laser chemical doping and so on, fully demonstrated the advantages of laser chemical technology.
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