【摘 要】
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The refratory silicides are of interest as contact and interconnect materials for VLSI to improve the characteristics of devices because of their low and metal
【机 构】
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中国科技大学物理系,中国科技大学物理系
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The refratory silicides are of interest as contact and interconnect materials for VLSI to improve the characteristics of devices because of their low and metal- like resistivities and their high temperature stability. Jn this paper, we report the electrical properties of WSix films. The sample was formed by multilayer sputtering with W DC target and Si magnetron target onto a rotated n-Si(111) substrate and was subsequently
The refratory silicides are of interest as contact and interconnect materials for VLSI to improve the characteristics of devices because of their low and metal-like resistivities and their high temperature stability. Jn this paper, we report the electrical properties of WSix films. The sample was formed by multilayer sputtering with W DC target and Si magnetron target onto a rotated n-Si (111) substrate and was subsequently
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