【摘 要】
：
在历经了多年的乐观预测与并不顺利的初始尝试阶段后,EUV技术终于在2019年进入批量生产。掩膜制造厂对具有EUV功能的设备投资是巨大的,不仅包括图形写入、检测、量测、修正、
论文部分内容阅读
在历经了多年的乐观预测与并不顺利的初始尝试阶段后,EUV技术终于在2019年进入批量生产。掩膜制造厂对具有EUV功能的设备投资是巨大的,不仅包括图形写入、检测、量测、修正、视检和清洁等设备,同时还要兼顾用于存储、运输和护膜技术的相关基础设施投入。然而,在掩膜制造厂和晶片厂中,即使是在晶片厂已经进入大规模生产(high volume manufacturing,HVM)的阶段,一些关键问题仍有待解决。本篇将重点针对其中几个问题,探讨如何发展出完善的、衔接连续的掩膜检测、使用、认证策略。尤其是在掩膜质量认证的
其他文献
本文介绍了从Internet上检索医学信息情报所需的相关资料和一般方法,并给出一些常用的域名地址.
智能网联汽车一直是汽车行业研究的热点,近年来随着移动互联的发展,新一代信息通信技术极大地推动了智能网联汽车的研究进程。作为智能网联汽车功能的直接体验者,用户对汽车
本文介绍了人力资源予以确认的原因,人力资源会计计量单位和属性以及它们所组成的人力资源会计计量模型。
This article describes the reasons for the confirmation of hu
欧·亨利的短篇小说以其幽默的语言,奇妙的构思和出人意料的结局而深受读者喜爱,读到他的《天窗室》则足以感受到其刻画人物的功力,这扇窗值得去读去感悟和解读其中所传达的
目的探究观察胺碘酮治疗急性心肌梗塞室性心律失常的临床疗效。方法随机选取我院于2015年3月至2017年3月收治的100例急性心梗室性心律失常患者,同时分成两组,分别命名为观察
为了探讨老年人急性心肌梗塞(AMI)的临床特点,现就我院1990～2000年收治的老年人AMI73例进行分析.1 临床资料1.1 一般资料:全部病例均为住院病人,符合AMI诊断标准[1],年龄65～84
蝴蝶兰花非常独特且高度进化,如萼片瓣化、瓣片特化为唇瓣、雌雄蕊合生成合蕊柱及子房发育须由授粉启动等,是单子叶植物花发育研究的理想材料。近年来蝴蝶兰花发育分子生物学
密闭环境内铅酸蓄电池充电期间产生硫酸雾等有害成分,对人员和设备危害较大,本文针对蓄电池充电产生硫酸雾对人员和设备的影响,研究建立了蓄电池充电产生硫酸雾的离子色谱法
唐高祖武德九年六月四日(公元六二六年七月二日),以秦王李世民主动发动的对其兄皇太子建成和其弟齐王元吉的玄武门之变,是唐初一次著名的宫廷政变。玄武门之变是李世民政治生
会计监督是会计工作的一项重要职能,是各项经济监督工作的基础.近年来,会计监督职能弱化,致使会计领域工作秩序混乱,严重损害了国家和企业的利益.因此,应从思想认识、运行体