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复旦大学微电子学系张卫教授课题组在22纳米CMOS关键技术先导的研发上取得突破性进展，提出了多种超浅结源漏和先进互连的新工艺。
复旦大学在22纳米CMOS关键技术先导研发上取得突破性进展
【摘 要】
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复旦大学微电子学系张卫教授课题组在22纳米CMOS关键技术先导的研发上取得突破性进展，提出了多种超浅结源漏和先进互连的新工艺。
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2012年6期
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