半导体器件中金刚石散热器热性能的传输线矩阵(TLM)法分析

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mldn2006
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本文将传输线矩阵(TransmissionLineMatrix,TLM)法运用到热扩散问题的求解中,通过对模型的建立、迭代算法的步骤、边界的处理等问题的讨论,详细阐述了传输线矩阵(TLM)法用于分析热扩散问题时的基本理论.最后以半导体器件中金刚石薄膜散热器为例进行了实例分析. In this paper, the transmission line matrix (TLM) method is applied to solve the thermal diffusivity problem. Through the discussion of the model establishment, iterative algorithm steps and the boundary treatment, the TLM method is described in detail Basic Theory in the Issue of Thermal Diffusion. Finally, a case study of a diamond thin film heat sink in a semiconductor device is taken as an example.
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