Fabrication and characterization of patterned carbon nanotube flow sensor cell

• 作 者: CAO Hui LU Qiang SONG XiaoHui
• 机 构: SchoolofMechanicalScienceandEngineering,InstituteofMicrosystems,ResearchInstituteofMicro/NanoScience
• 出 处: 中国科学通报：英文版
• 发表日期: 2010年23期
• 关键词: 单壁碳纳米管 流量传感器 传感器元件 制备方法 图案化 聚二甲基硅氧烷 液体浓度 特性 carbon nanotube composite thin film
• 基金项目: This work was supported by the National ttigh-Tech Research ＆ Development Program of China （2007AA04Z348） and China Postdoctoral Science Foundation （20080440139）.

有图案的流动传感器房间由围单人赛的碳 nanotubes (SWCNT ) 组成网络和 polydimethylsiloxane (PDMS ) 被制作，基于真空过滤，影印石版术，并且血浆蚀刻的进程。传感器房间是一部合成薄电影并且包装一个流动传感器到形式，然后与不同液体处于不同流动率测试，例如 deionized (DI ) 水和 NaCl 答案。有增加流动速度和液体集中的导致电压的增加。关系在之间导致电压并且传感器房间电导率以一样的流动率在一样的液体被测试。传导性越高，越 higher 导致电压。一些