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SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sssmickey

【作 者】

：

李鑫  梁庭  赵丹  雷程  杨娇燕  李志强  王文涛  熊 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2018年05期

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