切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
用离子微探针研究不同钝化膜对钠离子的掩蔽能力
用离子微探针研究不同钝化膜对钠离子的掩蔽能力
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kkk0089
【摘 要】
:
用离子微探针测定二氧化硅、非晶硅和氮化硅三种钝化膜对钠离子的掩蔽能力,结果表明,非晶硅膜具有最好的掩蔽能力。由此可见,非晶硅膜可作为特种器件的钝化保护膜。
【作 者】
:
薛正缪
【机 构】
:
上海市测试技术研究所200233
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
钠离子
钝化膜
离子微探针
passivation film
ion microprobe
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用离子微探针测定二氧化硅、非晶硅和氮化硅三种钝化膜对钠离子的掩蔽能力,结果表明,非晶硅膜具有最好的掩蔽能力。由此可见,非晶硅膜可作为特种器件的钝化保护膜。
其他文献
美国的“宗教与民主协会”
美国《今日基督教》1985年2月1日号上刊登了一篇报道,详细介绍了一个名为“宗教与民主协会”(The Institute on Religionand Democracy)的组织,该组织在最近召开的一次会议上,准备
期刊
协会
民主
宗教
美国
教牧人员
公共政策
基督教
组织
PD-co-SVS石蜡油微乳液的制备与破乳
通过简单的自由基聚合作用,首次采用单体甲基丙烯酸二乙氨基乙酯和乙烯基磺酸钠合成了一种新型聚合物.采用IR,1 H NMR,动态光散射、表面技术等技术对高聚物进行了表征.该聚合
期刊
高聚物
表面活性剂
自由基聚合
微乳液
polymer
surfactant
radical polymerization
microemulsion
光轴滚动螺旋传动装置
本文介绍了一种新颖、简单、实用的传动装置,其特点是靠六个与传动主轴成一定角度的轴承,利用摩擦力将主轴的回转运动变为从动件的直线运动,该传动装置已成功地用于扩散炉的
期刊
光轴传动
摩擦力
从动滑块
螺旋传动
Shaft driving mechanism
friction
slave slide
数字化数控机床主轴测试系统的研发
针对数控机床主轴传统测试在测试方法、数据处理、误差评定等方面均存在不足的问题,研发了数字化数控机床主轴测试系统。这一系统集成了各类检测功能,提高了测试的时效性与数值的精确性。
期刊
机床
主轴
测试
Machine Tool Spindle Test
有关国会图书馆所藏的宝卷
宝卷与我国的《山椒大夫》和《小栗判官》等相象,即与所谓“说教节”(译注:“说教节”是开本民间流行的由三弦伴奏,用说大鼓的方式讲解经文的一种曲艺。)相仿,是中国民间文学史、民
期刊
国会图书馆
宝卷
民间文学史
精神史
宗教史
说教
大夫
经文
评约翰-保罗二世的利玛窦宣传
1982年10月25日,在罗马格列哥里大学举行的“利玛窦研究会议”上,梵蒂冈现任教皇约翰-保罗二世借“表彰”四百年前来华的耶稣会传教士利玛窦的机会,公开号召天主教的传教士仿效
期刊
利玛窦
保罗
约翰
耶稣会传教士
殖民主义
帝国主义
军事力量
宣传工具
糖友要给自己开张运动处方
适当运动有利于糖尿病的控制,但毫无节制地、过了头的运动,非但无益于健康,反倒增加高血糖、低血糖的发生率,使糖代谢更加紊乱。
期刊
运动处方
糖尿病
高血糖
发生率
低血糖
糖代谢
现代基督教神学——关于它的思想和行动
简而言之,现代甚督教神学,正处在一个重大的转折时期,而这个转折时期,也许是从古代转向中世纪,或从中吐纪转向近代的转折时期所无法比拟的,所谓从近代转向近代以后的激烈过渡时期的
期刊
基督教神学
现代
转折时期
过渡时期
中世纪
近代
母亲饮食中的脂肪酸可降低儿童患1型糖尿病的风险
新近研究显示,婴幼儿在母亲孕期或哺乳期获得的主要来源于鱼类的ω-3多元不饱和脂肪酸,可以帮助他们降低患1型糖尿病的风险。该研究结果显示,血清中高水平鱼源脂肪酸含量与低风
期刊
不饱和脂肪酸
1型糖尿病
低风险
母亲饮食
儿童
母亲孕期
自身免疫
ω-3
看看你的饮食中缺了什么
一天,在学校食堂,我带着几个女学生,让她们注意一下吃饭的学生们面前的餐盘,找出不合理的搭配,然后做个营养评价。我启发大家说:看看,这边是一份葱油饼搭配一碗玉米粥;那边是一份凉皮
期刊
饮食
学校食堂
营养评价
女学生
搭配
玉米粥
土豆丝
其他学术论文