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来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
通用多边形覆盖算法及图形分解软件袁为民(南洋信息与控制工程公司)关键词算法,多边形覆盖,掩膜图形分解中留法分类号TP3171文献回顾和算法简述针对集成工艺中所涉及的掩膜图形的多样性
【作 者】
:
袁为民
【机 构】
:
南洋信息与控制工程公司
【出 处】
:
上海交通大学学报
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
多边形覆盖
掩膜图形分解
集成电路
软件
algorithm
polygon covering
mask pattern decomposing
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