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通过对智能移动平台和六自由度机器人的调研分析,提出了新型智能片盒搬运小车的概念,并进行了设计研究。结合激光导航AGV,配合六轴协作机械臂,可在机台、Stocker、e-Rack之间进行FOUP搬运。
智能片盒搬运小车布局设计
【摘 要】
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通过对智能移动平台和六自由度机器人的调研分析,提出了新型智能片盒搬运小车的概念,并进行了设计研究。结合激光导航AGV,配合六轴协作机械臂,可在机台、Stocker、e-Rack之间
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2019年18期
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