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期刊论文
加快发展超纯化学试剂
加快发展超纯化学试剂
来源 :洗净技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong587
【摘 要】
:
近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
【作 者】
:
吴镇堃
【机 构】
:
苏州三和微电子材料开发有限公司
【出 处】
:
洗净技术
【发表日期】
:
2003年08M期
【关键词】
:
超纯化学试剂
集成电路
微电子行业
超精密清洗
超净高纯化学试剂
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近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
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