金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究

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本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨. In this paper, diamond films were prepared by direct current arc plasma jet method and analyzed by Raman spectroscopy and scanning electron microscopy, and the common crystal forms of several experiments were introduced.Finally, the formation process of diamond was preliminarily discussed.
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