【摘 要】
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以PLC为控制核心,开发出一种可实现微细电铸工艺实施过程自动化、工艺参数和工艺效果能实时在线监控的智能化控制系统。从电铸工艺参数控制、阴阳极间距及相对位置控制和电解
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以PLC为控制核心,开发出一种可实现微细电铸工艺实施过程自动化、工艺参数和工艺效果能实时在线监控的智能化控制系统。从电铸工艺参数控制、阴阳极间距及相对位置控制和电解液循环过滤控制三方面阐述了系统构成,并进行了实验评价。结果表明：基于该控制系统,电铸工艺参数检测、监控准确,误差小于2%;阴阳极直线进给精度低于3μm,翻转角度最高可达90°;双路循环过滤切换及时,延时不超过5s。
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