金刚石类超薄膜的力学性能和表面性质与掺杂剂对它的影响

• 机 构: 美国国家可更新能源实验室国家生物能源中心,美国科罗拉多州高尔登,CO 80401美国希捷公司机械部,美国科罗拉多郎蒙特,CO 80503;美国希捷公司希捷研究部,美国巴拿马州匹兹堡,PA 15203
• 出 处: 青岛大学学报（工程技术版）
• 发表日期: 2005年4期
• 关键词: 本体模量 晶格参数 表面张力 杨氏模量

用经典的力场方法对金刚石(C)、氮化硼(BNx)和氮化碳(CNx)结晶硬涂层膜的力学性能进行了探讨,确定原子结构、本体和杨氏模量为膜厚度的函数.探讨了吸附物对金刚石模量或表面张力的影响.另外,研究了不同氮化物中氮浓度以及不同取向和键合环境(sp2和sp3)下氮原子对模量的影响,揭示了系统的规律.同时,测定了空位对硬度的影响.