一种新型薄膜干涉仪

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一、前言我们已经利用薄膜技术建起了一台具有迈勒干涉仪的新型显微镜。为了避免大孔径光束的象差,这种干涉仪需要使用薄膜做分束镜,在某些情况下,还需要借助干一个小金属膜反射镜的帮助。图1是这种系统的示意图。靠下 I. INTRODUCTION We have built a new microscope with a Meyer interferometer using thin-film technology. In order to avoid the aberration of the large aperture beam, the interferometer needs to use a thin film as a beam splitter, and in some cases it also needs the help of a small metal film mirror. Figure 1 is a schematic illustration of such a system. By the next
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