【摘 要】
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参考了司各脱和奥林斯蒂德关于硼和磷向硅中固—固扩散的工作以后,使用同样的方法把砷扩散到硅中。其过程分为两个步骤:(a)这种方法的实质是用正硅酸乙酯蒸汽〔TEOS〕的氧化
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参考了司各脱和奥林斯蒂德关于硼和磷向硅中固—固扩散的工作以后,使用同样的方法把砷扩散到硅中。其过程分为两个步骤:(a)这种方法的实质是用正硅酸乙酯蒸汽〔TEOS〕的氧化分解在加热到400℃～500℃之间的硅衬底上淀积硅氧化物。司各脱和奥林斯蒂德采用了一个不同的方法并用 TEOS 的裂化完成了分解,其中不包含氧气而只需要一个较高的衬
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