低温等离子体辅助脉冲直流磁控溅射制备TiN薄膜

• 作 者: 吕起鹏 李刚 公发全 王锋 卢俊 孙龙 金玉奇
• 出 处: 真空科学与技术学报
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 低温等离子体 脉冲直流磁控溅射 氮化钛薄膜 高温抗氧化特性

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