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粘附是MEMS器件在加工、操作过程中特有的现象，根据微机械中作用力的尺度效应与表面效应，分析表面张力、范得瓦耳斯力、静电力对粘附的影响机理，同时给出了抗粘附的常用的技术方法。
基于MEMS粘附问题中关键表面力的分析
【摘 要】
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粘附是MEMS器件在加工、操作过程中特有的现象，根据微机械中作用力的尺度效应与表面效应，分析表面张力、范得瓦耳斯力、静电力对粘附的影响机理，同时给出了抗粘附的常用的技术方
【机 构】
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廊坊师范学院
【出 处】
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机械研究与应用
【发表日期】
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2007年4期
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