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在分析蜂窝状表面微坑低频振动冲击加工原理的基础上，研究了低频振动冲击在缸套内表面形成分布规律和结构参数可控的微坑加工方法，提出了利用位置敏感器件（PSD）为核心构成在线二点法的刀杠位移检测系统，并将检测出来的实际参数传递给计算机，计算出刀杆位移的修正位置和修正余量，由伺服电机驱动刀具对表面微坑进行低频振动加工．该方法使微坑加工过程变得平稳，显著降低了由于振动引起的噪声，微坑分布和结构参数可控，且所有微坑均匀分布、相互独立，有效保证了微坑加工深度．