Adaptive Control of a Micromachined Continuous Membrane Deformable Mirror for Aberration

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：same66

【摘要】

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ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＡｃｔｉｖｅｍｉｒｏｒｓａｒｅｉｎｄｉｓｐｅｎｓａｂｌｅｅｌｅｍｅｎｔｓｆｏｒａｄａｐｔｉｖｅｏｐｔｉｃｓ［１］．Ｒｅｃｅｎｔａｄｖａｎｃｅｓｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｍｅｍｂｒａｎｅｄｅｆｏｒｍａｂｌｅｍｉｒｏｒ（... IntroductionActivemirorsareindispensableelementsforadaptiveoptics [1]. Recentadvancesofthemicromachinedmembranedeformablemiro

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

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1998年06期

【关键词】

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Mirror Membrane

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