工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

• 作 者: 付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修
• 机 构: 北京科技大学材料科学与工程学院,北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司
• 出 处: 人工晶体学报
• 发表日期: 2010年6期
• 关键词: 起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度 bowing deposition temperature deposition pressure surface r

本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度（650℃）和降低沉积压力（1.5×104Pa）有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S〈1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果。