TiN镀层对射频器件表面二次电子倍增的抑制作用

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射频器件中的二次电子倍增效应通常会产生许多不良影响,使用TiN镀层来抑制射频器件中的二次电子倍增已经有许多成功的应用。本文概述了TiN镀层的二次电子发射性能及其对真空系统释气率的影响,总结了TiN镀层在陶瓷窗、超导腔、直线加速器等射频器件中的应用,得出了相关结论。 The secondary electron multiplication effect in RF devices usually has many undesirable effects. There have been many successful applications of TiN coatings to suppress the secondary electron multiplication in radio frequency devices. This paper summarizes the secondary electron emission properties of TiN coating and its effect on the gas release rate of the vacuum system. The application of TiN coating in RF devices such as ceramic windows, superconducting cavities and linear accelerators is summarized. The relevant conclusions are drawn.
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