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电感耦合等离子体质谱仪（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer）校准过程中的不确定度评估是量值溯源过程的重要组成部分。本文依据JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》和JJF 1159-006《四级杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范》等技术规范，建立ICP-MS灵敏度及检出限测量结果的不确定度评定数学模型，系统分析测量不确定度来源，对测量结果进行不确定度评定。结果表明：ICP-MS灵敏度的相对扩展不确定度为6.1%, k=2,测量结果的不确定度主要来源于标准物质引入的不确定度；ICP-MS检出限的相对扩展不确定度为47%,k=2,测量结果的不确定度主要来源于灵敏度引入的不确定度。本文为系统评估ICP-MS的灵敏度及检出限的不确定度和开展该项目的校准、研制ICP-MS校准用标准物质提供参考。