【摘 要】
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硬质合金基体与金刚石薄膜的附着强度是影响涂层产品性能的重要因素。为提高薄膜与基体的附着强度,本文利用正硅酸乙酯为硅源,采用热丝化学气相沉积方法,在圆柱形硬质合金基
【基金项目】
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上海市自然科学基金资助项目(18ZR1401100),中央高校基本科研业务费专项资金(2232019D3-35)
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硬质合金基体与金刚石薄膜的附着强度是影响涂层产品性能的重要因素。为提高薄膜与基体的附着强度,本文利用正硅酸乙酯为硅源,采用热丝化学气相沉积方法,在圆柱形硬质合金基体制备硅掺杂金刚石薄膜。利用机械抛光法,对比分析硅掺杂与普通金刚石涂层与硬质合金基体的附着强度。结果表明,硅掺杂可以显著提高金刚石薄膜与硬质合金基体的附着强度,硅元素在金刚石薄膜沉积过程中,还可以细化金刚石的晶粒。为制备高附着强度的细晶粒金刚石薄膜提供一种重要方法。
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