1．55μm非晶硅热光F-P腔可调谐滤波器

• 作 者: 左玉华 蔡晓 毛容伟 黄昌俊 成步文 李传波 罗丽萍 高俊华
• 机 构: 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,中国科学院半导体研究所光电子工艺中心
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2003年9期
• 关键词: 热光效应 FABRY-PEROT 可调谐滤波器 非晶硅 thermo-optical effectFabry-Perottunable filtera-Si
• 基金项目: 国家重点基础研究发展规划 (No .G2 0 0 0 0 36 6 0 3),,国家自然科学基金 (批准号 :96 10 4 0 0 3),,国家高技术研究发展计划 (No .2 0 0 2AA312 0 10 )资助项目~~

介绍了一种Si基热光Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器．F-P腔由电子束蒸发的非晶硅构成．利用非晶硅的热光效应，通过对Si腔加热，改变F-P腔的折射率，从而引起透射峰位的红移．该原型器件调谐范围为12nm，透射峰的FWHM(峰值半高宽)为9nm，加热效率约为0．1K／mW．精确控制DBR(分布式Bragg反射镜)生长获得高反射率镜面是减小带宽的有效途径；通过改进加热器所处位置及增强散热能力，有望进一步提高加热效率．