声表面波器件用LiNbO_3-LiTaO_3复合基片

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东京芝浦电气综合研究所为了扩大氧化物单晶 LiNbO_3,LiTaO_3的应用探索优质声表面波基片材料,发明了制作复合基片毛细管液相外延法(CLE),并在12月召开的电子通信学会超声研究会上作了报导。这种方法巧妙地利用了模片和晶体基片之间以及模片本身间隙内的两种毛细管现象。现在已能获 Tokyo Shibaura Electric Institute to expand the use of oxide single crystal LiNbO_3, LiTaO_3 exploration of high quality surface acoustic wave substrate material, invented the production of composite substrate capillary liquid phase epitaxy (CLE), and held in December of the Electronics and Communications Society Ultrasound Society made a report. This method ingeniously takes advantage of both capillary phenomena in the gap between the die and the crystal substrate and in the die itself. It is now available
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