【摘 要】
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提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法．该方法是将SU8胶涂在一块掩模上，紫外光从掩模的背面照射，这样SU8胶的曝光将从底部开始，不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量，从而很
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所,英国帝国理工医学院
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划 ( No.2 0 0 2 AA40 415 0 )资助项目~~
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提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法．该方法是将SU8胶涂在一块掩模上，紫外光从掩模的背面照射，这样SU8胶的曝光将从底部开始，不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量，从而很容易控制曝光剂量和SU8胶结构的内应力．实验结果表明，该方法能够得到高宽比为32的SU8结构，而文献报道的SU8胶结构的高宽比最大仅为18。
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