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介绍了用于制备薄膜材料的磁控溅射技术,总结了以改变磁场分布方式而得到的各类新型磁控溅射方式,如非平衡磁场(扩散性、内敛性、闭合场),扫描磁场,强度可变磁场,在基片、靶面或其他部位外加的磁场,高强度磁场等。
不同磁场分布在磁控溅射制膜技术中的应用
【摘 要】
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介绍了用于制备薄膜材料的磁控溅射技术,总结了以改变磁场分布方式而得到的各类新型磁控溅射方式,如非平衡磁场(扩散性、内敛性、闭合场),扫描磁场,强度可变磁场,在基片、靶
【机 构】
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华东理工大学机械与动力工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2007年07期
【基金项目】
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国家自然科学基金(50472046);上海市科委曙光计划(2005)
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