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来源 :长春理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有
【作 者】
:
齐克奇
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
:
长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2012年4期
【关键词】
:
光刻物镜波像差检测平台
针孔定位
自解耦
有限元方法
wavefront aberration detecting stage for lithographic
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