机床和半导体制造设备的精密测量技术(Ⅰ)——利用机动球杆的三维空间误差评价技术

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本文介绍机动球杆系统的基本原理、特点和用途。该系统可在几小时内完成机床和半导体制造设备的三维空间误差评估。 This article describes the basic principles of mobile club system, features and uses. The system can be completed within three hours of machine tools and semiconductor manufacturing equipment, three-dimensional space error assessment.
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