【摘 要】
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据日本工业气体协会 (JIGA)估计 ,随着半导体和LCD生产回升 ,2 0 0 2年日本专用气体市场销售额达 378亿日元 (3 15亿美元 ) ,同比增长 6 %。半导体和LCD增产导致NF3和AsH3等
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据日本工业气体协会 (JIGA)估计 ,随着半导体和LCD生产回升 ,2 0 0 2年日本专用气体市场销售额达 378亿日元 (3 15亿美元 ) ,同比增长 6 %。半导体和LCD增产导致NF3和AsH3等专用气体需求大幅增加。预计 2 0 0 3年日本专用气体的销售额将达 390亿日元 ,同比增长 3%。其中主要专
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