Chemical-mechanically polishing large area free-standing CVD diamond films

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yayayaoo

【摘要】

：

Chemical mechanical polishing is used to polish large area free-standing CVD diamond films with diameters of 66 mm.The influence of polishing plates(iron plate,

【作者】

：

ZHANG Pingwei TONG Tingting CA

【机构】

：

HebeiPlasmaDiamondTechnologyCo.,HebeiInstituteofLaser

【出处】

：

金刚石与磨料磨具工程

【发表日期】

：

2018年6期

【关键词】

：

POLISHING PLATE OXIDIZING agent material REMOVAL rate surface ROUGHNESS

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Chemical mechanical polishing is used to polish large area free-standing CVD diamond films with diameters of 66 mm.The influence of polishing plates(iron plate,asphalt plate and soft cushion)and oxidizing agents(K2S2O8 and K2FeO4)on polishing results are

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