【摘 要】
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1987年,美国加利福尼亚州大学伯克利分校的两位中国留学生用硅制成转子直径为150μm(相当于两根头发丝粗细)的微型电机,轰动了世界,开创了微电子机械这门新兴学科。嗣后,美国
【机 构】
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1987年,美国加利福尼亚州大学伯克利分校的两位中国留学生用硅制成转子直径为150μm(相当于两根头发丝粗细)的微型电机,轰动了世界,开创了微电子机械这门新兴学科。嗣后,美国、日本、德国、瑞士、法国、荷兰、英国、瑞典等发达国家投入大量人力、物力和财力,积极进行微电子机械的研究与开发。我国追踪微电子机械这一世界前沿科技领域的攻坚始于90年代初,现今有的科研成果已达到国际先进水平。
In 1987, two Chinese students at the University of California, Berkeley, made a miniature motor with a rotor diameter of 150μm (equivalent to the thickness of two hair strands) made of silicon, creating a new discipline of microelectronic machinery. Subsequently, the United States, Japan, Germany, Switzerland, France, the Netherlands, Britain, Sweden and other developed countries put a lot of manpower, material and financial resources into actively conducting microelectromechanical research and development. China’s tracking of micro-electronics machinery in the world’s cutting-edge science and technology tackling problems began in the early 90s, some scientific research achievements have reached the international advanced level.
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