【摘 要】
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主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析/质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内
【机 构】
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上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室
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主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析/质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障,有利于MEMS的可靠性设计。
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