【摘 要】
：
使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜的性能与工艺
【机 构】
：
专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学微电子学院;
【基金项目】
：
国家科技重大专项(2015ZX02102-003)~~
论文部分内容阅读
使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜的性能与工艺条件之间的关系。结果表明,TaN薄膜主要由Ta、N和少量的C、O组成。当衬底温度由250℃提高到325℃时Ta与N的原子比由46:41升高到55:35,C的原子分数由6%降低到2%。同时,薄膜的密度由10.9 g/cm3提高到11.6 g/cm3,电阻率由0.18Ω?cm降低到0.044Ω?cm。与未退火的薄膜相比,在400℃退火30 min后TaN薄膜的密度平均提高了～0.28 g/cm3,电阻率降低到0.12～0.029Ω?cm。在250℃生长的3 nm超薄TaN阻挡层在500℃退火30 min后仍保持良好的抗Cu扩散性能。
其他文献
小学是教育的基础阶段,也是一个人一生行为习惯培养的起点,如若在此阶段能够养成良好的行为习惯,那么将终身受益。农村地区自然条件优越,但经济水平、人们文化水平相对落后,
颈性眩晕是临床上的一种常见疾病,多发生于中老年人。近年来,由于人们生活节奏的加快与计算机在日常工作和学习中的普及,其发病率有所上升并出现发病年轻化的趋势,因而引起了
我国经济水平逐渐发展,城市化进程也在逐渐加快,建筑行业也随之发展起来,建筑企业数量逐渐增多,建筑规模逐渐扩大,在这样的背景下,人们的要求也就逐渐增高,测绘工程是其中一
<正>4月11—15日,CCMT2016(第九届中国数控机床展览会)在上海成功举办。作为本年度国内规模最大、品牌知名度最高的机床工具展,CCMT2016不负众望,展品种类和数量远超过历届CC
在阐述宜昌地区猕猴桃特色产业发展现状及其发展优势的基础上,分析了"一心六片、两圃多园"等特色产业发展布局,并进一步提出了该区猕猴桃产业发展措施,主要包括加强组织领导
为了得到具有良好的热性能,更高的伸长率和弹性模量的可降解聚合物材料,本文通过熔融缩聚法合成了一系列的芳香/脂肪共聚酯,并通过核磁共振（1HNMR）,差示扫描量热法（DSC）,热重分析
商务英语主要是以适应职场生活的要求为目的,涉及到商务活动的方方面面。随着全球经济一体化的趋势不断加强,商务英语人才在我国的经济发展中的作用越来越重要,因此,我们应该
从坯泥材料的混合变性,添加各种有机或无机材料所形成的材质去欣赏缺陷美;也可以从制作过程中坯料干湿程度的控制,造型弯曲、撕裂变化的肌理美去欣赏工艺缺陷美;也可以从釉料
注塑制品的成型是一个非常复杂的多因素耦合作用的动态加工过程,其中成型收缩是影响注塑制品质量的关键因素之一。收缩不仅降低了注塑制品的尺寸精度与表观质量,同时还引起注
<正>"纳税人之家"是南京地税部门与行业协会或纳税人相对集中区域联合设立的纳税人维权服务平台和为纳税人提供服务的场所。目前,南京市地税局共设立20个"纳税人之家",为纳税