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期刊论文
金刚石薄膜生长技术的发展评述
金刚石薄膜生长技术的发展评述
来源 :人工晶体 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lvbocai
【摘 要】
:
本文评述了近年来用化学汽相沉积(CVD)和物理汽相沉积(PVD)方法沉积金刚石薄膜技术的发展概况;介绍了低压汽相沉积金剐石薄膜的各种技术和工艺参数;评价了各种技术的特征;对
【作 者】
:
陈天鹏
李云飞
郑秋梅
王秉中
【机 构】
:
人工晶体研究所,人工晶体研究所北京,北京,北京
【出 处】
:
人工晶体
【发表日期】
:
1989年1期
【关键词】
:
金刚石
薄膜
生长技术
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本文评述了近年来用化学汽相沉积(CVD)和物理汽相沉积(PVD)方法沉积金刚石薄膜技术的发展概况;介绍了低压汽相沉积金剐石薄膜的各种技术和工艺参数;评价了各种技术的特征;对金刚石薄膜今后的研究趋势提出了看法。
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