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【摘 要】
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本文对 PtSi 红外肖特基势垒探测器中硅化铂薄层（～20nm）进行了分析,比较了不同制作条件 PtSi 薄层的化学组成以及有关元素在薄层中的纵向分布等情况,提出了良好的硅化铂薄层的形
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆光电技术研究所永川632163,永川632163
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1992年4期
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