【摘 要】
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本文报道在27keV Ar~+离子轰击Fe-W(30wt.％)合金情况下,溅射Fe和W原子的角分布实验结果。用卢瑟福背散射(RBS)谱仪分析了不同发射角θ处溅射沉积在衬底上的Fe-W薄膜的成分。结
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所
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本文报道在27keV Ar~+离子轰击Fe-W(30wt.％)合金情况下,溅射Fe和W原子的角分布实验结果。用卢瑟福背散射(RBS)谱仪分析了不同发射角θ处溅射沉积在衬底上的Fe-W薄膜的成分。结果表明,角分布形状均为over-cosine型,且W原子对Fe原子的比值与发射角θ有关。与我们以前关于Cu-Au合金和Ti-Ni合金的结果比较,暗示择优溅射程度可能与合金成分的质量比值有关。简单的模型分析发现,靶表面形貌是引起溅射原子角分布变化的重要因素。
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