心若有梦，何惧路远

• 作 者: 梁水源
• 出 处: 故事家·高考季
• 发表日期: 2020年9期
• 关键词: 光刻 显微镜 图纸 一台 皇冠 技术

　　一位本科生竟然凭借一张图纸，成功地在家里搭建了纳米级光刻机，还成功光刻出75000纳米的孔径。同学惊讶地问他：“这么“高大上”的光刻机是怎么造出来的？”他笑了笑说：“是低成本DIY的。”他就是大连理工大学化工学院的学生彭译锋。
　　彭译锋从小就对电子零件充满了强烈的好奇心，上小学的时候，他曾把家里一台坏掉的收音机拆了，面对散落一地的零部件，反反复复地试着重新组装起来，经过几次失败之后，居然装起来了，而且还恢复了收听的功能，因此受到了妈妈的表扬和奖励。
　　此后，彭译锋遇到感兴趣的电子产品，就会饶有兴味地上手折腾一番。一天，科技老师在课堂上说，光刻机技术一直被誉为“工业上的皇冠”，因为要想成功生产一个半导体芯片，需要经过湿洗、光刻、离子注入、干蚀刻、湿蚀刻、等离子冲洗、热处理、快速热退火、退火、热氧化等近二十道工序，而制作工序的第二步就是光刻，如果没有掌握此项技术工艺，后面的工艺流程基本就无法继续进行。那时，彭译锋的梦想，就是有朝一日我们能突破光刻技术工艺难题。
　　高考结束后，喜欢物理的彭译锋，却阴差阳错地考上了大连理工大学读化工，但这并没有影响他的科技发明和制作。2020年年初，彭译锋向在西安电子科技大学就读的同学要了一张制造光刻机的图纸，本来只想看看而已，可当他看到图纸时的第一反应是：这不是两台显微镜吗？彭译锋的好奇心被勾了起来，何不试试自己DIY一台。
　　于是，彭译锋在家里建起了一间超简陋的实验室，一张小书桌用来放置器材，一张白板用来演算数据。一切准备完毕后，他开始按照图纸培养单晶硅片，小心放置光刻掩板，两台显微镜加一个激光雕刻机等部件就位，其中一台自带屏幕的显微镜还是找同学借的，主要是用来观察实验结果。经过几个不眠之夜，他成功地将显微镜改装成微缩光刻机，就是用普通的镜头先对焦，对焦好以后再用光刻的镜头进行操作。而光刻镜头是用锡纸改装的，可以起到散热和遮蔽外泄紫外线的作用。在这半年的时间里，他把自己关在屋子里，沒日没夜地进行研究，发现问题就上网查资料，然后再进行改进。在安装预热加热台后，这台DIY的光刻机总算大功告成了。最后，他对这台机器进行调试，成功光刻出-75微米的孔径。他的低成本DIY纳米级光刻机的视频在传上网后很快就火了，网友拍手叫绝的同时，纷纷感叹一个学化学的大学生竟然有如此惊人的创造力。
　　虽然他做出来的还只是非常初级的光刻机雏形，距离掌握5纳米和7纳米的技术工艺还很远。然而，心若有梦，何惧路远，这部视频的爆火必然引发更多年轻人对科学的兴趣，会在年轻人心中不断种下科技的种子，相信不久的将来，我们也能摘取光刻机技术这顶“工业上的皇冠”。
　　素材分析：
　　心中有梦想，就会义无反顾地向前冲刺，尽管这条路走起来非常艰难，但也阻挡不了我们心中的热情。在不断的尝试中，我们最终会走向成功。