基于氧化铟气体传感器的研究现状

来源 :山东师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：SANTACRUZ1

【摘要】

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氧化铟作为一种比较新的气敏材料,在一定程度上解决了现有气体传感器中存在的选择性差和工作温度高等问题.近几年来大量的文献报道了氧化铟传感器检测O3、 CO、 NO2等气体.本

【作者】

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臧传伟郭雨唐伟杜学舰修显武

【机构】

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山东师范大学物理与电子科学学院,山东师范大学物理与电子科学学院

【出处】

：

山东师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2019年1期

【关键词】

：

氧化铟气敏材料气体传感器

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氧化铟作为一种比较新的气敏材料,在一定程度上解决了现有气体传感器中存在的选择性差和工作温度高等问题.近几年来大量的文献报道了氧化铟传感器检测O3、 CO、 NO2等气体.本文按照被检测气体的种类,从In2O3的气敏材料制备及气敏性能两方面对现有In2O3气体传感器进行了论述,并指出了In2O3半导体气体传感器的发展方向.

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