辐射换热对悬空微器件温度的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yifeng9131120
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基于悬空微器件法的一维纳米结构热物性测量技术在纳尺度传热研究中得到了广泛的应用。为了研究辐射换热给这类实验测试带来的误差,本文在20~360 K温度范围内测试了低温恒温器中遮热罩的个数对悬空微器件热源/热沉和基底温度的影响。研究结果表明:在没有加热电流的情况下,使用三层遮热罩时,热源/热沉温度和基底温度的差异可以忽略;采用两层遮热罩时,热源/热沉温度同基底温度最多差0.4 K;只使用一层遮热罩时,辐射换热使得360 K时热源/热沉温度比基底温度低11.8 K。因此,为了降低辐射换热对实验结果的影响,低温恒温器中至少应该使用2个遮热罩。 The thermophysical properties measurement of one-dimensional nanostructures based on the suspended micro-device method has been widely used in the research of heat transfer at nanoscale. In order to study the error caused by the radiation heat transfer to this type of experimental test, the influence of the number of heat shields on the heat source / heat sink and the substrate temperature of the suspended micro-devices was tested in the temperature range of 20 ~ 360 K. The results show that the difference between the heat source / heat sink temperature and the substrate temperature can be neglected when the three-layer heat shield is used without heating current; when the two-layer heat shield is used, the temperature of the heat source / heat sink is the same as that of the substrate The difference is 0.4 K; when only one layer of heat shield is used, the radiation heat transfer makes the heat source / heat sink temperature lower than the substrate temperature by 11.8K at 360K. Therefore, in order to reduce the influence of radiation heat transfer on the experimental results, at least two heat shields should be used in the cryostat.
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