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【摘 要】
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提出一种成本低、简单易行的碳纳米管图形阵列制备技术.首先在硅基底上采用热解工艺生长碳纳米管(CNT)阴极,再用光刻腐蚀法制备阴极图形阵列.研究了掩模精度及腐蚀液的浓度对
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2003年6期
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