【摘 要】
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根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速。计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。
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根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速。计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。
According to Penning discharge mechanism, the theoretical formula of pumping ion pump pumping speed is deduced. The dependence of pumping speed on various discharge parameters is discussed. The pumping speed of N2 and CO for ion pump was calculated. The calculated results are in good agreement with the experimental test and the empirical formula.
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